東莞市香蕉污视频真空科技有限公司旗下的旋片真空泵以清潔無汙染，而且擁有較寬的抽速（sù）範（fàn）圍以及良好的節（jiē）能、穩定、易維護等優勢廣泛應用於（yú）半導體行業，半導體工藝用真空主要用在蒸發（fā），濺（jiàn）射，PECVD，真空幹法刻蝕， 真（zhēn）空吸附，測試設備（bèi），真空清掃等等鍵合工序，今天香蕉污视频的技術人員來給大家普及一下旋片真空泵在半導體工藝中的應用（yòng）不可忽（hū）視的安全問題。

半導體材料可以（yǐ）分為元素半（bàn）導體和化合物半導體（tǐ）兩（liǎng）大類，元素半（bàn）導體指矽、鍺單一元素（sù）形成的半導體，化合物指砷化镓、磷化銦等（děng）化合物形成的半導體。砷化镓的電子遷移速率比矽高5.7倍，非常適合用於高頻電路。

半導體生產製造過（guò）程中容（róng）易產生易（yì）燃易爆以及有毒的物質氣體，會對生產及人員安全造成威脅，因此，旋片真（zhēn）空泵在半導體工藝中的應（yīng）用時需要注意的幾個安（ān）全事項主要（yào）有以下幾點內容：

1、定期清洗旋片真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓；

德國旋片真空泵在半（bàn）導體中應用時，抽取介質過程（chéng）中經過反應室與真空泵，其成分可能極為複雜，如SiH4與O2在（zài）泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設是油封式機械泵，這些氣體物質還可能與泵油（yóu）發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質，就可能堵塞（sāi）真空泵或管路（lù）係統，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓（yā），第一點中提到（dào）的（de）危險性也更大。所以需要及時的清洗，並在（zài）必要（yào）的時候設置過濾設備。

2、有效稀釋有害氣體的濃度；

半導體（tǐ）易產生前（qián）麵所說的（de）易燃易（yì）爆、有毒的有害氣體。所以半導（dǎo）體用真空泵應用過程中，在抽取這些介質時就（jiù）必（bì）須防止它們在真（zhēn）空泵內或者排氣過程中發生一些不可控的（de）反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質，在與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中（zhōng）的混合比例達到一定程度（dù）與溫（wēn）度時也會發生燃燒。這些都取（qǔ）決（jué）於該物質的量以及與環境的壓（yā）力、溫度的關係。因此半（bàn）導體真空泵在抽取這些（xiē）介質時，需要用（yòng）氮氣之類（lèi）的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全範圍。

3、注意氧氣（qì）的濃度；

空氣中的氧如果濃度過高也會發生（shēng）燃燒及爆炸風險。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來稀釋，防止濃度過高；假（jiǎ）設是油封機械泵可能（néng）還需要采用一些惰性的與氧（yǎng）相容（róng）的真空泵油，並及時更換油濾和油品。

4、防止溫度過（guò）高；

半導體在真空泵的應用中，有害氣體比較多，而無論是幹式真（zhēn）空泵還是（shì）油封機械泵，泵腔（qiāng）內溫度（dù）過高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會容易發生危險。

以上四個方麵就是旋片（piàn）真空泵在半導體工藝中的應用過（guò）程中最主（zhǔ）要的幾個安（ān）全事項（xiàng），我們一定不可忽視，技術人（rén）員說小問（wèn）題對運轉（zhuǎn）、產量、效率和安全都有聯係，如果想要工作（zuò）更加的順利，我們應該延長真空泵的使用壽命，努力協調平衡，保證（zhèng）效率與安全。