根據現在最常用的矽單晶直拉法減壓拉晶工藝，真空係統一般都配備滑閥式真空泵。但隨著大直徑（jìng）、重（chóng）摻雜等特（tè）殊要求的矽單晶需求量的增加，對（duì）單晶爐設備的要求也越來越高（gāo），采用滑閥（fá）式真空泵的缺點也（yě）日益顯現。為（wéi）了提高生產效率，降低（dī）成本，也為了保證器件參數的一致（zhì）性、可靠性，都希望直拉單晶大直（zhí）徑化，設備控製高度自動化（huà），從抽空到拉晶結（jié）束全部自動化控製，且穩定性、可靠性極好（hǎo）的大型直拉單晶設備（bèi）。為了提高單晶的內在質量或者某方麵（miàn）參數的（de）特殊要求，香蕉污视频通（tōng）過改造真空係統，將水環式真空泵應用在直拉單晶爐設備上，以提高直拉單（dān）晶爐的整體性能。下麵跟著小（xiǎo）編一起來了解改造好的真空係統在直拉單晶爐上的應用（yòng）有什麽變化吧。

直拉單晶（jīng）爐，包括爐體，爐體（tǐ）包括爐座和爐腔，爐（lú）腔設置在（zài）爐座上，爐體內設有加熱裝置和直拉（lā）成型裝置，加熱裝置包括石英坩堝、石墨坩堝、加熱器和石墨電極（jí），石墨坩堝包裹在石英坩堝的外側（cè），加熱器設置在石墨坩堝的外側（cè），石墨電極設置在加熱器的底端，直拉成型裝置包括豎直設置的籽晶軸和坩堝軸，籽晶軸設置在（zài）石英坩（gān）堝的上方，坩堝軸設置在石英坩堝的底部，籽晶軸的上方設有與籽晶（jīng）軸相連接的籽晶（jīng）軸驅動裝置，坩堝軸的底部設有（yǒu）坩堝軸驅動（dòng）裝（zhuāng）置。

滑閥泵是用油來保持密封的機械真空泵的（de），由於它的滑閥環與泵腔有一定間隙，兩者不接觸（chù），可（kě）抽含有微小塵埃的（de）氣體。在單晶正常生長過（guò）程中，滑閥泵將會帶走由（yóu）於高溫而產生出來的矽氧化物和雜質揮發物（wù），這些雜質大部分會進（jìn）入泵腔，與真空泵（bèng）油混合在一起。由於矽（guī）單晶生長時間比較漫長，特別（bié）是大直徑的矽單晶生長（zhǎng）時間更長（zhǎng），隨著時間的增加（jiā），真（zhēn）空泵油裏的雜質也越積越（yuè）多，從而使真空泵油的黏稠度也越來越大，導致真空泵負荷增大，抽速下降，嚴重的（de）會造（zào）成真空泵不能正常工作。因（yīn）此需（xū）要定期更換真空泵油，這樣做還可延長真空泵壽命。但頻繁的更換真空泵油，不但維護費用高而且在一個拉晶工藝過程中是無法實現（xiàn）的。特別是在拉（lā）重摻砷等劇毒摻雜元素的（de）矽單晶時，有一部分（fèn）砷等劇毒元素融入真空泵油中，使得（dé）真空泵的（de）維護更（gèng）加困難，含有砷等劇毒摻雜元（yuán）素的真空（kōng）泵（bèng）油處理是件很棘手的事。

針對上述的問題，改進後的真空係（xì）統在（zài）直拉單晶爐上的應用（yòng），既（jì）可以使用水（shuǐ）環泵作為主泵，也可當旁路真空球閥（fá）關閉的時候，使用滑閥泵作為主泵，滿足不同拉晶工藝的（de）需要。當使用水環泵作為（wéi）主泵時，正常拉晶產生的矽氧化物和雜（zá）質揮發物都被抽到了水環泵（bèng）裏，溶於水環（huán）泵（bèng）的水中（zhōng），水環泵的（de）水不斷地循環更新，確保了水的清潔，使得水環泵能正常（cháng）工作，不會因為拉晶時間太長，影響水（shuǐ）環泵的工作性能，從而維持正常抽速，保證爐膛內的真空（kōng）度穩（wěn）定。排出的水經過處理還可以重複使用，這樣不（bú）但維（wéi）護方便而且費用低，特別是（shì）拉重摻砷等劇毒摻雜元素的（de）矽單晶時（shí），砷等劇毒摻雜元素融（róng）入（rù）水中後比較容易被分離收（shōu）集，減少對環境（jìng）影響。