2019-11-05
螺杆真(zhēn)空(kōng)泵在平板顯示器中的應用
伴隨(suí)著上(shàng)述無時無刻不在屏讀的奇幻未來的是高速發展的(de)顯示麵板(bǎn)產業。麵板的生產(chǎn)製造(zào)過程非常繁複,從一塊玻璃基(jī)板到出廠成品至少需要 300 道流程工藝,全程需在無塵的環境、精密的技術工藝下進行。所以(yǐ),高度可靠的(de)真空供應在麵板生產過程(chéng)中尤為(wéi)重(chóng)要。平板顯示器(qì)生產商現采用幹式螺杆真空泵技術為其高負荷的L/L,CVD,PVD,刻蝕(shí),溶劑蒸(zhēng)發等工藝流程供(gòng)應真空。本篇(piān)文章打算介紹下螺杆真空(kōng)泵在平板顯示器(qì)中的應用。
平板顯示器(FPD)製造製程需要能夠(gòu)支持巨大加工室,並在最大可靠性的情況下輸(shū)送高氣體流速的真空和減排(pái)設備。需要使用(yòng)普(pǔ)諾克真(zhēn)空設備(bèi)來泵送有毒、自燃和腐蝕性氣體,並處理製造(zào)製程艙中形成的大量固態製程副產物。
在平板顯示(shì)器中(zhōng),為什麽會選擇采用普諾(nuò)克螺(luó)杆真(zhēn)空(kōng)泵?
選(xuǎn)擇使用幹式螺杆真空泵的原因,其實跟它的產品(pǐn)特點有關係,它具備以下三(sān)點(diǎn)優(yōu)點:
1、高度可靠性
Pronotek幹式螺杆(gǎn)真空泵(bèng)尤(yóu)其高效,得益於其久經考驗(yàn)的雙螺杆(gǎn)設計和智能溫度管(guǎn)理,該係(xì)列真空泵即使在最惡劣的應用環境中(zhōng)也(yě)具有高度可靠性及較長的使用壽命。
2、配備節能模式功能,可大量節省能耗
Pronotek幹式螺杆真空泵配備(bèi)了高能(néng)效電機和世界先(xiān)進的節能模式功(gōng)能,控製係統會自動根據需求調整(zhěng)為節能模(mó)式,而當需要的時候恢(huī)複到最大抽速模式,從而節省(shěng)大量能耗。
3、維護及運行成本最小化
它的一小部分部件包括轉子是一件式製成,得益於模塊化設計以及獨立的羅茨泵和螺杆泵(bèng)框(kuàng)架,輕輕鬆(sōng)鬆即可進行安裝和維護,大幅降低了大修成本(běn)。由於(yú)該(gāi)真空泵采用最優化(huà)的空間設計,並具有節能潛力,因此運行成本很低。
由多台幹式螺杆泵與羅茨泵組合而(ér)成的真空(kōng)係統(tǒng)是平板顯(xiǎn)示應用的最佳(jiā)解(jiě)決方案,例如:用於進出片室的快速抽空、過渡(dù)室和薄膜沉積室的抽空。在同類泵中,它們提供最快的抽空時間和最高的抽速。通過標準化設計,普(pǔ)諾(nuò)克真(zhēn)空其使所提供係統具有極高的用戶友好(hǎo)性。用戶還可得益於諸如電氣連接、吹掃氣體和冷卻水(shuǐ)等(děng)的標準化接口、方(fāng)便的設(shè)備維護及優化的備(bèi)泵(bèng)管理。
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