進口真空泵維修廠家表示真空係統（tǒng）的日常維護十分重要，可避免在出現故障時手（shǒu）足無（wú）措（cuò）、並能（néng）盡快（kuài）排除故障使設備正常（cháng）運轉。東莞市香蕉污视频真空科技有限公司通（tōng）過以下（xià）內容對真空係統（tǒng）的主要部件維護作簡單的介紹，同時，針對真空係統出現故（gù）障情況分析其（qí）原因以及真（zhēn）空泵維修（xiū）之真空係統故障排除的方法，也會整理出來提供給各位進（jìn）行參考一下的。

真空泵維（wéi）修一：真空係統的主（zhǔ）要部件及維護（hù）方法

1、旋轉泵：要定期檢查旋轉泵的（de）油平麵，及時補充（chōng）油確保泵運轉（zhuǎn）正常（cháng）。泵皮帶用久後容易打滑，可適量加些皮帶脂或稍調（diào）節皮帶鬆緊度，可延（yán）長皮帶壽命（mìng）。

2、擴散泵：擴散泵的工作性能（néng）好壞是決定電鏡獲（huò）得高真（zhēn）空的關鍵，而影響擴散泵（bèng）性（xìng）能的主要原因（yīn）是油質的下降和油量（liàng）的減少為了減少（shǎo）擴散泵油的揮發和碳化，平時儀器要定期抽（chōu）真空，換（huàn）樣品時盡量（liàng）減少樣品室（shì）在大氣（qì）中停留的時間，關機後一般要十分鍾後才停冷卻（què）水；有條件的冷卻最（zuì）好（hǎo）采用循環水箱和去離子水，以減少水（shuǐ）垢的形成，保持冷卻性能；擴散泵（bèng）油在正常情況下可連續使用十年（nián）。

真空泵維修二：真空係統故障原因

（1）低真空正常，高真空上不去（qù）。儀器在正（zhèng）常使用中光柵突然出現閃爍，立即關高壓後（hòu）控製麵板（bǎn）指示燈除 POWER亮，其餘都熄滅，真空度下降。數分鍾後用控製麵（miàn）板上的檢測器測真空度（ⅤAC）電流一直在025mA.未聽見高真（zhēn）空主閥啟動的聲音。查K板（bǎn）PD、HVAC指示（shì）燈熄滅，抽真（zhēn）空程序不能正常進行。從故障現象看引起（qǐ）儀器不正常的（de）原因是：擴散泵工作不（bú）正常；計（jì）算機真（zhēn）空控製部分失控。

（2）儀（yí）器自（zì）動關機，處於保護狀態：一開機 POWER指示燈亮，機械泵響聲（shēng）正常，15分鍾左右擴散泵（DP）指示燈亮，不久PREEⅤAC、EVAC指示（shì）燈亮，一會PREEⅤAC、EVAC指示燈滅，馬上PREEⅤAC、EVAC指示燈又亮，然後儀器自動關機處於保護狀態。引起此故障的原因有下列幾種情況：a.主電源電壓不正常；b.真空係統不正常； c.高壓電路故；d.計算（suàn）機邏輯控製電路故障（zhàng）等。

真空泵維修三：真空（kōng）係統故障排（pái）除方法

（1）檢查發現進出口冷卻水溫度一樣，用手輕摸擴散泵有餘熱，估（gū）計是加熱器或加熱（rè）電路有問題，測加熱電（diàn）路正（zhèng）常，拔（bá）下加（jiā）熱器插頭，測二（èr）端電阻為（wéi）∞，說明擴散泵加熱器損壞，換上加熱器真空係統恢複正常。

（2）經檢查發現故障是擴散泵冷卻水溫度檢（jiǎn）測器損壞造起，更換（huàn）溫（wēn）度檢測器後故障排（pái）出。

要保持真空係統的良好性能，必須（xū）保（bǎo）證係統（tǒng）的暢通清潔，首先，做好儀器的（de）使用狀況和維護（hù）記錄，每次開機都要注意查看儀（yí）器運轉是（shì）否正（zhèng）常。這（zhè）就（jiù）是真空泵維修之真空係統故障排除最佳的方（fāng）法，而且減少後續的人力物力財力。隻需要在使用的過程中花費（fèi）一點點時間進行檢查，真空係統運行的時候（hòu）就（jiù）可以有一點保障（zhàng）了。