2019-08-24

真空係統在汙染管理中的應用

由於人們對工業高度發達的負(fù)麵影(yǐng)響預料不夠,預防不利,導致(zhì)了全球性的三大危機:資源(yuán)短(duǎn)缺、環境汙(wū)染、生態破壞。由於人為因素使(shǐ)環境的構成或(huò)狀態發(fā)生變化,環境素質下降,從而擾亂和破壞了生態係統和人(rén)類的正常生產和生活條件的現象,針對這些問題,越來(lái)越多(duō)企業重視環境保護,東(dōng)莞市香蕉污视频(kè)真空(kōng)科技有限公司旗下(xià)的真空(kōng)係統為汙染管理提供一係列的解決方案,打算將真空係統在汙染(rǎn)管理(lǐ)中的應(yīng)用,會有什麽樣子的效果。

 

汙染管理用真(zhēn)空係統(tǒng)是普諾(nuò)克專門為半導體和製(zhì)藥行業最新開發的。憑借(jiè)香蕉污视频(kè)真空多(duō)年來作為真空技術供應商的經驗,已經使我們對生產體係的工藝、設備以及環境(jìng)的專有技術 和(hé)理解完全成形。基於這一認識,技術人(rén)員已開發了能夠識別並最小化汙染以及提高工藝每(měi)個步(bù)驟產量的解決方案。

 

真空係統


汙染是(shì)如何發生的?

在半導體行業,在運(yùn)輸和等待期間,晶圓發射出了反應(yīng)副產品。通過氣流傳播的水分和分(fèn)子汙染物(空氣分子汙(wū)染物(wù),簡稱 AMC),例如氟化氫(HF),在運(yùn)輸箱(吊艙係統)的(de)狹隘間隙裏與環境空氣(qì)中的氧化劑(H2O 和 O2) 發生反應。在這些反(fǎn)應中,生(shēng)長在結(jié)構化晶片上那些不需要的晶體被觸(chù)發,從而導致(zhì)了質量的下降和產量的減少。在製藥(yào)行業,比如濕度、氧氣或微生物侵入等汙染可以在整個產品生命周期影響藥物穩定性。

 

環境汙染源主要有以下幾方麵:

(1)工廠排出的廢煙、廢氣、廢水、廢渣和噪音;

(2)人們生活中(zhōng)排(pái)出(chū)的廢煙、廢氣、噪音、髒(zāng)水、垃(lā)圾;

(3)交通工具(所有(yǒu)的燃油車輛、輪船、飛機等(děng))排出的廢氣和噪音(yīn);

(4)大量使用化肥、殺蟲(chóng)劑、除草劑等化學物質的農田灌溉後流出的水;

(5)礦山廢水、廢渣;

(6)機器噪音,電磁輻射,二氧化碳汙染;空氣中主要(yào)汙染物有二氧化硫、氮氧化物、粒子狀汙染物、酸雨。

 

中(zhōng)央(yāng)真(zhēn)空站(zhàn)特(tè)點:

1、真空站的真空上、下限值,可通過真空表設定在(zài)0~-0.1Mpa之間,誤(wù)差值在±10%。

2、真空站用儲氣(qì)罐(guàn)根據用戶要求製造(zào),一般(bān)在0.1~3m3之間。真空站啟動(dòng)後,真空罐內真空度始終(zhōng)保持在設定的上、下限值之間。

3、配置真空泵采用品牌真空泵,可根據用氣量相應配置(zhì)型號。

4、控製方式:

A、單泵自動、手動控(kòng)製。

B、雙泵一開一備用或雙泵分開單泵定時(shí)自動循環(huán)運行控製(zhì),或(huò)雙泵同時聯動運行自動控製。

5、真空負壓站每台泵均配置帶充氣電(diàn)磁止回(huí)閥一套,防止真空回油故障。

6、特殊行業可根據客戶要求設計金屬或粉塵(chén)過濾器,有效地保護真空獲得設備。

 

香蕉污视频真空係統在汙染(rǎn)管理(lǐ)中的應用提高了敏感器件生產各個工藝步驟的產量及良率。為保證生產質量和(hé)高產量,對器件包裝中的汙染物及其直接環境的認(rèn)識是十分重(chóng)要的。


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