2019-08-09

真空係(xì)統在掃(sǎo)描電鏡中的應用

真空係統在掃描電鏡中的應用,掃描(miáo)電鏡被廣泛的應用在半導體、實驗室等領(lǐng)域。掃描(miáo)電鏡(jìng)也是借助高真空係統(tǒng)。電鏡的高真空係統是有分子(zǐ)泵和前級泵組成,分子泵一般采用脂潤滑或磁懸浮的分子泵,前級泵是采用雙(shuāng)級油旋片真(zhēn)空泵,或無油渦旋泵作(zuò)為前級泵。前級泵(bèng)是輔助分子泵運(yùn)行的,前級泵先將腔體(tǐ)抽到10pa以(yǐ)後再啟動(dòng)分子泵。分子泵啟動後再將係(xì)統(tǒng)抽(chōu)到-3pa~-4pa左右。

 

掃描電子顯微鏡,是自上世紀60年代作為商用電鏡麵世以來迅速發展起來的一(yī)種(zhǒng)新型的電子光學儀器,被廣泛地應用於化學、生物、醫學、冶金、材料、半導體製造、微電路檢查等各個研究領域和工業部門。

 

在(zài)材料領域中,掃描(miáo)電鏡技術發揮著極(jí)其重要的作用,被廣泛應用(yòng)於各種材(cái)料的形態結構、界麵狀況、損傷機製及材料性能預測等方麵的研究。利用掃描電鏡可以直(zhí)接研究晶體缺陷及其產生過程,可以觀察金屬材料(liào)內部原子的集結方式和它們的(de)真實邊界,也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式,還可以(yǐ)檢(jiǎn)查晶體在(zài)表麵機械加工中引起的損(sǔn)傷和輻(fú)射損傷等(děng)。

 

真空係統


真空係統在掃描電鏡中具有什麽產品特點呢?

 

應用於掃(sǎo)描電鏡的真空係統具有製樣簡(jiǎn)單、放大(dà)倍數可(kě)調範圍寬、圖像的分辨(biàn)率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等特點,對於導電材料,可直接放入樣品(pǐn)室進行分析,對於導電性差或絕緣的樣(yàng)品則需要噴(pēn)鍍導電層。

 

真空係統主要包(bāo)括真空泵和真空柱兩(liǎng)部分。真空柱是一個密封的(de)柱形(xíng)容器(qì)。真空泵用來在真空柱內產生(shēng)真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類,機械泵加油擴散泵的組合可(kě)以滿足配(pèi)置鎢燈絲槍(qiāng)的掃描電鏡的真空要求,但(dàn)對於裝置了場致發射(shè)槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡,則需要機械(xiè)泵加(jiā)渦輪分子泵的組合。成象係統和(hé)電子(zǐ)束係統均內置在真空柱中。真空柱底端(duān)即為右圖所(suǒ)示(shì)的(de)樣(yàng)品室,用於放置樣品。

 

掃描電(diàn)鏡可粗略分為鏡體和電源電路係統兩部分。鏡體部分由電子光學係統、信(xìn)號收集和顯示係(xì)統以及真空抽氣(qì)係統組成。東(dōng)莞真空係統的作用是為保證電子(zǐ)光學係統正常工作,防止樣品汙染,一般(bān)情況下要(yào)求保持10-4~10-5Torr的真空度。

 

掃描(miáo)電鏡需要真空的原因包括(kuò):一是電子束係統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效,所以需要抽真空。二是為了增大電子的平均自由程,從(cóng)而使得用於成象的電子更多。

 

香蕉污视频真空係統在掃描(miáo)電鏡中的應用,能夠靠電子束掃描物體表(biǎo)麵來(lái)成像(xiàng)的。空氣的存在會使(shǐ)的電子束變型,影(yǐng)響掃描效果,因此(cǐ)需(xū)要使用到(dào)真空係統抽真空。如果對普諾(nuò)克真空係統感興趣的(de)話,都(dōu)可以撥打我司(sī)的客(kè)戶熱線。


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